Установка нанесения упрочняющих покрытий УВНИПА — 1 — 002 (УРМ3.279.079), Санкт-Петербург

Год выпуска 1994 (в эксплуатации с 2002 года) Заводская комплектация, полный комплект документации, частично ЗИП.

Установка предназначена для нанесения покрытий различных металлов, в том числе тугоплавких, соединений типа нитридов, карбидов, оксидов и их композиций, а также углеродных алмазоподобных пленок на изделия различного функционального назначения методом вакуумно-дугового распыления с предварительной ионно-лучевой обработкой поверхности изделий.
Габариты установки 226052851900 мм, вес 4300 кг
Состав установки
– Вакуумная камера 750600680 мм с откачной системой
в состав вакуумной камеры входят
генераторы металлической плазмы — дуговой испаритель (2шт. ),
размер катода диаметр 60-53 * высота 43 мм, ток дуги 50-200 А
импульсных генераторов углеродной плазмы (2шт. )
источников ионов с холодным катодом – радикал ионной очистки (4шт. ) – штатные ионные источники с возможностью обработки изделий на 500 мм по высоте,
система перемещения образцов – 2 шт. (120 планетарных позиций) с возможнлотью подачи опорного потенциала, скорость вращения оснастки 1,5 об/мин
система напуска газов – 6 канальная (диапазон регулировки 1,310-3-410-1 Па)
– стойки питания и управления
– блоки выпрямителей