Зондовая станция MPI TS 200SE, Москва

MPI TS200-SE зондовая станция

Зондовая станция MPI TS200-ShieldEnvironment™ (TS200-SE) разработана с возможностью обеспечения защиты от электромагнитных излучений, радиочастотных помех, выполнения светоустойчивых, малошумных измерений с малой утечкой в температурном диапазоне от -60 до +300°C, включая снятие параметров структур на этапе моделирования, высокочастотные измерения и измерения в миллиметровом диапазоне, анализ отказов, надежность на уровне кристалла подложки, подтверждение правильности проектного решения и моделирование устройств высокой мощности.

Функции и преимущества ShielDEnvironment™

ShielDEnvironment™ компании MPI представляет собой высокоэффективную камеру для испытаний на локальные внешние воздействия, которая обеспечивает условия для проведения сверхмалошумных и низкоемкостных измерений с защитой от электромагнитного и светового излучения.

ShielDCap™

Полностью конфигурируемая часть камеры MPI ShielDEnvironment™, которая обеспечивает использование до 4 микропозиционеров для высокочастотных измерений или до 8 микропозиционеров для высокотемпературных измерений/измерений вольт-фарадных характеристик или их комбинацию. Легкое изменение конфигурации, свойственное MPI ShielDCap™ облегчает работу с системой, позволяя легко изменять конфигурацию. Полная версия ShielDCap представляет собой заменяемый вариант с защитой от электромагнитных излучений держателя проб-карт.

Платформа с пневматическим подшипником

Функции подъема платформы и держателя пластин станции TS200-SE аналогичны зондовым станциям MPI TS-150, TS-200. Конструкция платформы с подшипником обеспечивает просто управление одной рукой держателя пластины, обеспечивает функцию быстрого перемещения по осям XY и быструю загрузку полупроводниковой пластины. Прецизионное и высокоточное позиционирование достигается за счет использования микрометрического винта по осям XY и углу с шагом 25 x 25 мм.

Уникальный механизм подъема платформы

Конструкция механизма подъема платформы с повторяемостью (1 мкм) имеет три отдельных положения для обеспечения контакта, зазора (300 мкм) и загрузки (3 мм). Механизм подъема также оснащен безопасным запорным приспособлением, которое препятствует случайному наклону платформы. Данные функции предотвращают нежелательное повреждение зонда или полупроводниковой пластины и обеспечивают интуитивное и точное размещение контакта, безопасную установку и повторяемость.

Высота подъема держателя по оси Z при загрузке

Величина подъема держателя станции TS200-SE по оси Z при загрузке/выгрузке пластины составляет 25 мм при увеличенном ходе движения платформы по оси Y (290 мм) для упрощения загрузки/выгрузки полупроводниковой пластины в системе ShieldEnvironment™.

Держатели полупроводниковых пластин

Станция TS200-SE оснащена различными держателями: Температурные держатели пластин: коаксиальные, триаксиальные, высокочастотные с двумя дополнительными держателями, встроенными в керамический материал для прецизионной высокочастотной калибровки; Различные держатели пластин ERS AirCool ( с воздушным охлаждением) для температурного диапозона от -60°С до +300°С

Запатентованная технология охлаждения AC3 по шкале ERS

Держатели включают запатентованную технологию охлаждения AC3 по шкале ERS и систему управления подачей воздуха для очистки системы MPI ShieldEnvironment™ использованным воздухом, сокращая, таким образом, потребление воздуха на 30 – 50 % по сравнению с другими станциями, представленными на рынке.

Микроскоп и оптика

Компания MPI предлагает широкий ассортимент оптических устройств (посетите MPI Optics) – от монокулярных микроскопов MPI SuperZoom SZ10 до MegaZoom MZ12 с 12-кратным увеличением и рабочим расстоянием более 45 мм.

Характеристики зондовой станции MPI TS 200SE

• — Страна производитель: Тайвань
• — Бренд: MPI Corporation