Времяпролетный масс-спектрометр МКМ-1, Санкт-Петербург

НАЗНАЧЕНИЕ:

• контроль содержания влаги в герметичных корпусах приборов микроэлектроники и устройств физической электроники


• анализ газового состава атмосферы внутри стандартных герметичных устройств, стеклянных ампул, баллонов, модульных сборок и, в том числе, проверки их на герметичность


• контроль всех микропримесей, содержащихся в конструкционных элементах


• проведение идентификации и определение присутствующих органических веществ, химически активных радикалов и продуктов газовыделения в подкорпусном пространстве ИС и модульных изделий.


• Особенности:
  • наиболее точный метод определение влаги в подкорпусном пространстве микросхем и др. ЭРИ
  
  
  • минимум фонового уровня от процесса десорбции влаги и примесей с поверхности образца перед вскрытием
  
  
  • количественный анализ до 400 компонентов в одном цикле измерения за 2,4 сек
  
  
  • работает в режиме реального времени (on-line)