Оптический профилометр на базе микроинтерферометра МИИ-4М, Новосибирск

Оптический профилометр на базе микроинтерферометра МИИ-4М
Профилометр предназначен для измерения толщины пленок и глубины микрорельефа
в диапазоне до 50 мкм с нанометровым разрешением при проведении исследований в обла-
сти микро- и оптоэлектроники, технологий дифракционной оптики, лазерной микрообработ-
ки, глубокой рентгенолитографии.
Профилометр выполнен на основе стандартного оптического блока микроинтерферо-
метра МИИ-4М, снабженного цветной USB видеокамерой. Для измерения глубокого микро-
рельефа в оптический блок встроен прецизионный оптический энкодер для измерения пере-
мещения объектива микроскопа. Для освещения объектов в белом и квазимонохроматиче-
ском свете используется светодиодной осветитель с управлением и питанием от USB-порта
управляющего компьютера.
Профилометр имеет два режима измерения: однофокусный и многофокусный. В мно-
гофокусном режиме для определения глубины микрорельефа используются показания лазер-
ного интерференционного датчика перемещения объектива.
Алгоритм работы программного обеспечения, поставляемого в комплекте, включает
определение периода и трекинг (определение положения и формы) полос. Результаты изме-
рения представляются в виде двумерной профилограммы или в виде таблицы со значениями
координаты и глубины. Программное обеспечение предоставляет следующие возможности
математической обработки: линейная и параболическая аппроксимация формы микрорелье-
фа; вычисление высоты ступеньки; вычисление среднеквадратичной величины неровности
микрорельефа. Для характеризации образцов с матовой поверхностью или высокой плотно-
стью дефектов, не дающих возможность сделать прямой трекинг на интерференционной кар-
тине, есть функция генерации усредненной ахроматической полосы пригодной для после-
дующего трекинга.
Основные технические характеристики:
Размер светового контролируемого поля, мкм не менее 250х250
Диапазон коэффициента отражения контролируемой
поверхности, %
2 до 100
диапазон измерения, мкм:
в однофокусном режиме
в многофокусном режиме
2 с погрешностью 20 нм
50 с погрешностью (20nm+ 0,01Т)*
Количество пикселей цифровой видеокамеры, Мп 3
* Т - измеренное значение глубины микрорельефа.
Технико-экономические преимущества:
Предлагаемый прибор сравним по основным характеристикам с зарубежными оптическими
профилометрами, но имеет существенно меньшую стоимость, что дает возможность для его
широкого внедрения в качестве простого недорого профилометра для цехов, лабораторий
НИИ и университетов.
Области применения: Профилометр предназначен для измерения толщины пленок и глуби-
ны микрорельефа в диапазоне до 50 мкм с нанометровым разрешением при проведении ис-
следований в области микро- и оптоэлектроники, технологий дифракционной оптики, ла-
зерной микрообработки, глубокой рентгенолитографии.
Уровень практической реализации: опытный образец (опытная установка). Работает в
ИЯФ СО РАН.
Патентная защита:
Имеется Свидетельство о государственной регистрации программ № 2015613757 «Про-
граммное обеспечение для управления комплексом устройств в составе интерферометра, за-
хвата оцифрованных интерферограмм и их математической обработки в интерактивном ре-
жиме».
Коммерческие предложения: Возможно мелкосерийное производство силами ИАиЭ СО
РАН. Срок поставки определяется сроком поставки базового микроинтерферометра МИИ-
4М (2-3 месяца). Поддерживается гарантийное и послегарантийное обслуживание.
Ориентировочная стоимость: ~ 850 тыс. руб.

Характеристики оптического профилометра на базе микроинтерферометра МИИ-4М

• — Страна производитель: Россия
• — Бренд: Институт автоматики и электрометрии