Тепловые микросистемы, ООО, Москва

Тепловые микросистемы, ООО

Датчики контроля газовых сред — одни из наиболее востребованных на рынке. Основные цели разработчиков таких приборов: увеличение чувствительности, снижение энергопотребления. Достижение которых возможно только при использовании «высоких» технологий микроэлектроники. На предприятии ООО Тепловые микросистемы освоено промышленное и опытно-промышленное производство цифровых приборов измерения различных параметров газовых сред, производство МЭМС датчиков собственной разработки. Как результат выполнения комплекса научных работ проводимых в рамках грантов Минобразования на кафедре МПТЭ московского государственного института электронной техники (МИЭТ). ОКР по данной тематике поддерживается фондом содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере (www.fasie.ru). В ходе работ использованы новые закономерности функционирования тепловых микросистем. Испытания в составе различных приборов измерения параметров газовых сред выявили настолько существенные преимущества по метрологическим параметрам, что имеются основания говорить о новом их поколении. На предприятии производятся цифровые датчики для измерения параметров газовых сред: расхода газа, давления, состава. Разработаны на основе микроэлектронных (МЭМС) датчиков отечественного производства.