Системы вакуумного напыления Mantis Deposition (Великобритания), Санкт-Петербург

Системы компании Mantis Deposition предназначены для решения широкого спектра задач напыления и осаждения: от нанесения простых металлических покрытий до выращивания эпитаксиальных пленок и высокоточного напыления наночастиц. Mantis Deposition разрабатывает полностью интегрируемые системы вакуумного напыления, удовлетворяющих техническим требованиям поставленных задач. Выбрав одну из подходящих платформ, можно индивидуально скомпоновать систему напыления, которая будет всецело удовлетворять требованиям по источникам, производительности и типу насоса, программному обеспечению автоматизации и манипуляции с образцами. В итоге, получится оптимально скомпонованная и полностью укомплектованная система напыления. За подробностями о системах напыления обращайтесь к нашим инженерам.

M серия представляет собой действительно гибкую модульную MBE платформу. Комплексное использование металлических соединений и системы отжига камеры обеспечивает базовое давление в камере лучше 5х10-10 mbar. Стандартная комплектация рассчитана на 1" – 6" подложки. Функциональность платформы можно расширить с помощью молекулярных источников - эффузионных ячеек Кнудсена и ВЧ атомарных источников для легирования материалов.

Система QPrep отлично подходит для широкого спектра методов осаждения тонких пленок, таких как: электронно-лучевое испарение, магнетронное распыление, термическое испарение из лодочек, а также осаждение кластерных наночастиц. Модульная конструкция позволяет комбинировать различные способы нанесения покрытий для получения сложно структурированных тонкопленочных покрытий. Стандартная комплектация рассчитана на 2” – 6“ подложки.

QUBE – это компактная универсальная система, подходящая как для процессов магнетронного распыления, так и для других техник вакуумного осаждения тонких пленок. Система оснащена большой передней дверью, что обеспечивает легкий доступ как к столику образцов, так и к источникам материалов. Данный дизайн системы отлично подходит для проведения R&D исследований, изготовления опытных образцов и организации штучного / мелкосерийного производства.

Система NanoSys обеспечивает высочайший уровень чистоты получаемых пленок в области исследования наночастиц. Сферическая камера обеспечивает оптимальную геометрию для осаждения кластерных наночастиц и предоставляет возможность использования широкого спектра инструментов для формирования покрытий PVD методами. Стандартная комплектация рассчитана на 2” образцы.

Настольная серия – это компактная платформа, которая может быть использована как камера предварительной подготовки к дальнейшим ростовым процессам на уже существующих системах, либо в качестве камеры для вакуумного осаждения на образцы 2” - 4”. Также она отлично подходит для процессов обучения студентов и аспирантов.

Характеристики систем вакуумного напыления Mantis Deposition (Великобритания)

• — Бренд:: Mantis Deposition