Гексапод (шестикоординатная система микропозиционирования), Москва

ГексаподH-810 компании Physik Instrumente (PI) с платформой диаметром 10см является одной из самых компактных шестикоординатных систем
микропозиционирования, работающих по принципу параллельной кинематики. Системы
параллельной кинематики по сравнению с системами последовательной кинематики
имеют большую жесткостью, меньшие габариты, не обладают движущимися кабелями,
что уменьшает трение и увеличивает точность позиционирования.

Подвижная платформа гексапода приводится в движение с помощью 6-ти
независимых прецизионных бесщёточных двигателей, благодаря чему можно проводить
позиционирование по трём линейным координатам (X, Y, Z) и трём координатам
вращения вокруг соответствующих осей (θ_X, θ_Y, θ_Z). В гексаподе H-810 используется принцип
векторного управления двигателями, при этом, максимальная скорость позиционирования составляет 2.5 мм/с.

Гексапод H-810 поставляется в комплекте с
контроллером. Модель H-810.D12 имеет контроллер C-887.21, выполненный в компактном настольном корпусе.

Модель H-810.D11 поставляется с контроллером C‑887.11. Контроллер
С-887.11 выполнен в корпусе для монтажа в 19" дюймовую стойку, имеет два
дополнительных канала управления позиционерами с DCдвигателями, опционально, может быть оснащен фотометрическими
платами F-206.iiU и F‑206.NCU.

Гексапод легко управляется с помощью контроллера. В комплект программного
обеспечения входит пользовательское ПО PIMikroMove с широким набором возможностей и интуитивно понятным
интерфейсом, драйвера LabView и библиотеки функций для разработки собственных приложений. Имеется
возможность программными методами задавать точку вращения, что особенно важно
для задач юстировки оптических элементов.

Контроллер может быть подключен к ПК по средствам интерфейсов TCP/IP или RS-232. Возможно, ручное управление гексаподом при помощи кнопочной панели C‑887.MC.

Некоторые возможные применения

·Оптические и лазерные исследования

·Астрономия

·Биотехнологии

·Полупроводниковые технологии

·Микроманипулирование

·Рентгеновская дифрактометрия

Технические характеристики

Характеристика
H-810.D1x
Ед. измер.
Доступные направления перемещения
X, Y, Z, θ_X, θ_Y, θ_Z
Характеристики движения и позиционирования
*Предел перемещения X, Y
± 20
мм
*Предел перемещения Z
± 6.5
мм
*Предел перемещения θ_X, θ_Y
± 10
°
*Предел перемещения θ_Z
± 30
°
Проектное разрешение одного двигателя
40
нм
Минимальный шаг перемещения X, Y
1
мкм
Минимальный шаг перемещения Z
0.5
мкм
Минимальный шаг перемещения θ_X, θ_Y, θ_Z
10
мкрад
Люфт X, Y
3
мкм
Люфт Z
0.5
мкм
Люфт θ_X, θ_Y
15
мкрад
Люфт θ_Z
75
мкрад
Точность повторного позиционирования X, Y
± 1
мкм
Точность повторного позиционирования Z
± 0.1
мкм
Точность повторного позиционирования θ_X, θ_Y
± 3
мкрад
Точность повторного позиционирования θ_Z
± 15
мкрад
Максимальная скорость X, Y, Z
2.5
мм/с
Максимальная скорость θ_X, θ_Y, θ_Z
60
мрад/сек
Стандартная скорость X, Y, Z
2
мм/с
Стандартная скорость θ_X, θ_Y, θ_Z
30
мрад/сек
Механические характеристики
Жесткость X, Y
0.1
Н/мкм
Жесткость Z
4
Н/мкм
Максимальная нагрузка (основание горизонтальное / произвольно)
5 /2.5
кг
Максимальное удерживающее усилие (основание горизонтальное)
15
Н
Двигатель
Бесщёточный DC-двигатель
Прочие условия
Диапазон рабочих температур
от 0 до +50
°С
Материал
Нерж. сталь, Алюминий
Масса
1.7
кг
Длина кабеля
2
м

*Максимальные
перемещения по нескольким координатам (X, Y, Z, θ_X, θ_Y, θ_Z)
взаимозависимы. В таблице приведены максимальные значения перемещений по каждой
оси, когда смещение по остальным координатам равно нулю. Если положения по
каким-то линейным или угловым осям отличны от нуля, то максимальное перемещение
может быть меньше.