Ручная зондовая измерительная станция MPI TS50 50-мм, Москва

Функции и преимущества

Упрощенная платформа.

Станция TS50 может иметь два различных варианта управления платформой держателя пластин. Упрощенная платформа представляет собой блок с вакуумным управлением, управление осуществляется одной рукой. Платформа обеспечивает быстрое и интуитивное перемещение по осям XY и вращение (Theta) и является стандартной конфигурацией для выполнения простых измерений ВАХ и вольт-фарадных характеристик

Платформа с линейным перемещением по осям XY с шагом 50 x 50 мм.

Данная платформа обеспечивает быстрое и независимое линейное перемещение по осям XY с шагом 50 x 50 мм, а также позиционирование с шагом 25 x 25 мм с помощью микрометрического винта по осям XY и вращение (Theta). Она обязательна для высокочастотных держателей пластин или в комбинации с термическими держателями пластин.

Регулировка по высоте 20 мм.

Точная регулировка зондовой платформы по высоте составляет 20 мм и требуется для поддержки различных измерений. Кроме того, она используется для управления контактом/зазором одновременно всех микропозиционеров.

Триаксиальный держатель пластин.

Для реализации высокочастотных измерений зондовая станция TS50 оборудована 50 мм триаксиальным держателем наряду с дополнительным держателем, встроенным в керамический материал для размещения высокочастотных калибровочных пластин.

Регулировка микропозиционеров по осям XYZ.

Также стандартной характеристикой, обеспечивающей выравнивание между высокочастотными зондами, является регулировка двухпортовых высокочастотных микропозиционеров по осям XYZ.

Конфигурации микропозиционеров.

На зондовой станции можно разместить до восьми микропозиционеров MPI MP25 для измерения ВАХ или шести микропозиционеров MPI MP40 для высокочастотных измерений с целью удовлетворения различных требований к подложке и топологии устройства.

Различные микроскопы.

Предлагается большой ассортимент микроскопов. Можно выбрать стереоскопический микроскоп для выполнения традиционных измерений на постоянном токе и вольт-фарадных характеристик. Также предложены монокулярные микроскопы с большим увеличением для высокочастотных конфигураций или конфигураций с загрузкой-выгрузкой.

Держатель кристаллов.

Держатель для кристаллов превращает станцию TS50 в платформу для тестирования устройств с размером от 1x1 мм. Он содержит устойчивый и удобный в работе вакуумный переключатель для правильной фиксации кристаллов, имеющих размер до 10x10 мм. Включение держателя для интегральных калибровочных подложек на одной высоте позволяет выполнять высокочастотные измерения. Его можно устанавливать на любом держателе полупроводниковых пластин, включая термические держатели.

Характеристики ручной зондовой измерительной станции MPI TS50 50-мм

• — Бренд:: MPI Corporation