Вакуумная установка Caroline PE12, Москва
Описание товара
Вакуумно-технологическая установкапредназначена для плазмохимического, ионно-химического и ионного травления тонких пленок в вакууме на любых плоских (толщина не более 30 мм) подложках диаметром до 250 мм.
Установка полностью автоматизированного управления с поштучной обработкой пластин. Снабжена генератором плазмы высокой плотности (патент РФ №2 171 555) со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13,56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы.
Для улучшения теплопровода от подложки предусмотрен так называемый «гелиевый теплоотвод» (дополнительная опция), который подразумевает подачу гелия между подложкой и поверхностью стола, что позволяет поддерживать небольшой перепад температур между поверхностью электрода и подложки.
Характеристики вакуумной установки Caroline PE12
- — Страна производитель: Россия
- — Бренд: Caroline
Товары, похожие на Вакуумная установка Caroline PE12
Заявленная компанией Эсто-Вакуум, ООО цена товара «Вакуумная установка Caroline PE12» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании Эсто-Вакуум, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.