Установка AS-Micro для быстрых термических процессов RTP, Москва
Цена: Цену уточняйте
за 1 ед.
- Минимальный заказ - 1 ед.;
- Предложение добавлено 03.03.2017;
- Уникальный код - 16554159;
- Предложение было просмотрено - 95;
Описание товара
Система AS-Micro -производства -Annealsys (Франция) для -быстрых термических процессов (RTP) для использования пластин диаметром до 3 дюймов для использования в -лабораториях. Версия с двумя камерами для перекрестного загрязнения (cross contamination).
Применение:
Быстрый термический отжиг (RTA)
Быстрое термическое окисление (RTO)
Послеимплантационный отжиг
Отжиг соединений полупроводников
Кристализация и Загустевание
Сульфиризация и Селенизация и др.
Особенности
- Размер подложек от кусочков до 3 дюймов (76 мм) в диаметре
- Опционально трехдюймовый держатель для образцов диаметром 2 дюйма
- Термопроцессор для быстрой термической обработки 3-дюймовых пластин
- Компактная конфигурация для настольного расположения
- Узкоспециализированные и исследовательские задачи применения
- Кварцевая труба камеры реактора с фланцами из нержавеющей стали
- Цилиндрические инфракрасные галогеновые лампы печи
- Очень быстрая скорость нагрева
- Дверь с горизонтальным движением с кварцевым лотком для легкой загрузки/выгрузки пластин и установки термопар
- Возможно установка двух реакторов на одной стойке
Скачать презентацию в PDF Температурный диапазонот комнатной -(RT) -до 1250°-CСкорость нагревадо 250°-C/сек. на двухдюймовой (2") кремниевой подложке и 200°-C/сек на трехдюймовой (3") подложкГазовая системаВозможность смешивать процессные газы, -Контроллеры массового расхода газаВакуумот атм. (н.у.) до 10-2 Торр (10-6 Торр по запросу с турбомолекулярным насосом - опция)Контроль температурыизмерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером -PID -гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температурУправлениесистема имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе -WindowsОпциипиромерт
Запросить предложение можно по -ссылке -или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru
Товары, похожие на Установка AS-Micro для быстрых термических процессов RTP
Обращаем ваше внимание на то, что торговая площадка BizOrg.su носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой.
Заявленная компанией МИНАТЕХ, ООО цена товара «Установка AS-Micro для быстрых термических процессов RTP» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании МИНАТЕХ, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.
Заявленная компанией МИНАТЕХ, ООО цена товара «Установка AS-Micro для быстрых термических процессов RTP» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании МИНАТЕХ, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.