Стилусный профилометр Alpha-Step D-600, Москва

Стилусный профилометр -Alpha-Step®- D-600 -производства -KLA-Tencor (США) -предназначен для 2D и 3D профилирования с высоким разрешением, 2D измерений напряжения в пленках, сшивания профиля, в нем реализовано и еще много других полезных функций.
Построенный на современной и не усложненной излишне платформе, этот профилометр выделяется на современном рынке сочетанием простоты работы, великолепными результатами и приятной стоимостью. D-600 оборудован инновационным оптическим сенсором уровня, который обеспечивает самый высокий вертикальный диапазон в 1200 мкм, субмикронное разрешение и программируемое усилие нажатия от 0.03 до 15 мг. Широкий спектр применений, таких как: измерения высотных ступенек от нанометров до миллиметров, шероховатости с высоким разрешением, исследования мягких материалов и напряжений в тонких пленках позволяет D-500 служить незаменимым инструментом в различных отраслях промышленности и в научно-исследовательских работах.

D-600 имеет 200-миллиметровый рабочий столик с перемещением по X-Y в пределах 150х178 мм. Новое программное обеспечение дает возможность задать последовательно ручное выравнивание и до 1000 местоположений на образце. Профилометр характеризуется продвинутой оптикой, 5 МР камерой высокого разрешения с 4Х цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.

Применение: -
Точный шаг высоты
Исследования текстуры поверхности
Напряжения в тонких пленках
Исследование биологических объектов
Микроэлектромеханические системы (MEMS)
Форма и наклон поверхности
Характеризация материалов
Прецизионное измерение вертикальных ступенек на поверхности
Исследование шероховатости и дефектности поверхности
3D измерения (сканирование)

• Стилусный профилометр D-600 имеет широкий спектр применений, определенных его возможностями, и удовлетворяет потребностям как исследований и разработки, так и производства.

• Рабочий столик на 200 мм обеспечивает длину сканирования до 55 мм без необходимости прерывания сканирования и сшивки профилей, и до 200 мм при использовании функции сшивания. D-600 предоставляет самый высокий вертикальный диапазон измерений до 1200 мкм и технологию сенсора низкого усилия до 0.03 мг, это гарантирует точность сканирование для множества приложений, включая тонкие пленки, мягкие материалы, высокие шаги высот, изгиб и напряжение.
• D-600 имеет передовую оптику, которая включает 5 МП камеру высокого разрешения с 4x цифровым увеличением и усовершенствованным видеоконтролем для многофункциональной визуализации.
• Сверхвысокоточное изготовление оптического датчика уровня обеспечивает его конструкции высокую безинерционность и самые низкие шумы. Результатом этого является повторяемость измерений высоты шага на уровне 5 Å- для 1 мкм шага высоты.
• Упрощенное создание рецептов позволяет быстро установить параметры 3D сканирования, упорядоченных для множественных сканирований и измерений, ориентировать точки привязки выравнивания и автоматически сшивать при измерениях напряженности в пленках. -Рецепт и системные средства управления отображают в одном окне расположение образца и текущее измерение. Сохранение исходных данных позволяет производить пересчет без повторных измерений.
• Новое программное обеспечение корректировки трапецеидального искажения автоматически удаляет типовые искажение вносимые угловой оптикой.
• Специальное программное обеспечение удаляет ошибку движения по дуге во время сканирования, улучшая точность измерений углов боковой стенки и ширины шага.
• 3D сканирование воспроизводит фото-реалистические поверхности, позволяя провести подробный анализ образца: высоты шага, текстуры и формы. Опция 2D напряжения использует Уравнение Стони и изменения изгиба образца перед и после обработки для вычисления напряжения в тонкой пленке. -Запросить брошюру в PDF

 -до 1200 мкм