Лазерный 3D профилометр SIS-1200 PLUS, Москва

Описание

Лазерный прифилометр SIS-1200 PLUS был разработана для исследования таких объектов и материалов как LCD, MEMS, тонких полупроводниковых пластин-носителей, поверхностей высокоточной обработки, оптоволоконных материалов и многих других. Прибор использует усовершенствованный метод фазовой сканирующей интерферометрии и гарантирует высокую точность исследований, высокоточный анализ шероховатости поверхностей, и характеризацию параметров поверхности.

Особенности

• 3D анализ: Трехмерный анализ поверхности, получение статистики отчетов и результатов параметров поверхности.
• Быстрота исследования: Интерферометр анализирует все поле в видоискателе за несколько секунд. Высокоскоростной цифровой анализ позволяет проводить быстрое исследование.
• Высокое разрешение: Вертикальное разрешение: 0.1 нм. Настройки пользователя позволяют выбирать требуемое разрешение.
• Широкий диапазон измерений: Исследования поверхности позволяют анализировать высоту от 1 нм до 200 мкм.
• Вариативность полей зрения: прибор позволяет выбирать разные увеличения.

Конфигурация

• Основной модуль (750*750*1573 мм), за исключением контроллера и монитора
  • гранитная основа, база
  • Мост
• Оптический модуль
  • Illuminator(LED Lamp)
  • Модуль фильтров
  • B/W CCD камера ; 640 X 480
• Основной контроллер
  • Pentium IV PC
  • Image Grabber
  • Interface Board
  • Main Monitor (17" LCD Color )
• Высокоскоростная/ Высокого разрешения CCD камера; 640 x 480 активных пикселей
• Высокоскоростной(до 30мкм/сек)/ высокоэффективный сканнер (ход 150 мкм)
• Высокоточный PZT сканирующий датчик замкнутого цикла
• Контроллер оптики и освещенности
  • Драйвер движения по оси Z
  • PZT Модуль усиления (емкостный датчик)
• Программное обеспечение
  • I Series : программное обеспечение для измерений
  • SNUMap : программное обеспечение для анализа
• Платформа для измерений
  • XY : 150 x 100 мм
  • Наклон: ±°
• Антивибрационный стол (750X750X750)
• Оптическая башня для объективов на 5 позиций
• Общий вес: около 300 кг
• Опциональные аксессуары
• Объективы
  • 2.5X
  • 5X
  • 10X ( Mirau Type)
  • 20X ( Mirau Type)
  • 50X ( Mirau Type)

• Метод измерений:
  • Усовершенствованный метод интерферометрии фазового сдвига
  • Интерферометрия фазового сдвига
• Возможность проведения измерений :
  • 3D измерения профиля поверхности
  • измерение шероховатости поверхности
  • измерение высоты ступени слоя металлического покрытия
• Зона обзора, измерений : От 0.181 мм до 3.62 мм: большие площади могут быть измерены, в зависимости от объектива
• Вертикальное разрешение : 0.1 нм
• Диапазон измерений : 0.2мкм to 150мкм с высокоточным PZT сканирующим датчиком замкнутого цикла

Ход платформы

Программное обеспечение :

- Усовершенствованное обнаружение контура, определении краев. Высокоточные измерения с автофокусной настройкой

- 3D вид & вид сверху сканированных компонент.

- Программируемое позиционирования образцов.

- Экспорт данных профиля/цифровой фильтр/статистический анализ

- Дружественный интерфейс

- Полностью настраиваемый модуль программного обеспечения

- Режим согласования позиции и профиля

- Определение воспроизводимости и стандартного отклонения

- Большое множество параметров анализа поверхности и шероховатости (Ra, Rsk, Rku,..... & Sa, Sq, Ssk, Sku......)

- Функции зума для локального/общего изображения

- PS модуль измерений