Кассетный шлюз загрузки пластин, Москва

Вакуумные и атмосферные шлюзы загрузки пластин ориентированы на широкий уровень производительности (4, 25 или 50 пластин). Возможны следующие типы шлюзов:
CLP (Cassette Load Port) - Вакуумные шлюзы загрузки из кассеты в кассету для 25 и 50 пластин
ALP - Атмосферные шлюзы загрузки из кассеты в кассету для 25 пластин
MLP (Mini Load Port) - Вакуумные шлюзы загрузки для кассет от 1 до 4 пластин

Особенности:

• В конструкции используются подъемники Hine нового поколения
• Возможность работы с прозрачными и непрозрачными пластинами
• Автоматическое определение наличия пластины и ее положения в кассете
• Интерфейсы управления RS232 / Ethernet
• Защитные блокировки
• Возможна конфигурация для работы в среде высокого вакуума

Параметр
ALP-200
CLP-200
MLP-200
Размер пластины
≤ 200 мм
Максимальная нагрузка
34 кг
Высота перемещения
1100 мм
Конфигурация для высокого вакуума
N/A
Доступно
Рабочее давление
N/A
<5.00 х 10-6 Торр
<5.00 х 10-6 Торр
Натекание
N/A
1.00 х 10-9 см3 He/c
1.00 х 10-9 см3 He/c
Питание
24В DC при 5А
Тип кассеты
Semi
Заказной, на 4 пластины
Материалы
6061‐T6 Al, нержавеющая сталь 300 и 400 серий, Viton
Макс. температура
100⁰C
Фотографии

• Хотели бы увидеть больше фотографий?

  Попросите их у продавца товара!

Купить кассетный шлюз загрузки пластинЗаказатьУточнить ценуИли свяжитесь с продавцомСообщениеПостарайтесь кратко описать суть вашего вопроса продавцу (минимум 20 символов)ФИОТелефонE-mailОтправляя вопрос, вы соглашаетесь с пользовательским соглашением ознакоми(лся/лась) и принимаю егоВернуться назадв раздел "Системы пневмотранспортные"
Смотрите также товары категории "Пневмотранспортные системы"
Системы пневмотранспортные
Пневмотранспорт

Характеристики кассетного шлюза загрузки пластин

• — Страна производитель: Россия