Одиночный шлюз загрузки пластин, Москва
Цена: Цену уточняйте
за 1 ед.
Описание товара
Одиночные шлюзы загрузки пластин разработаны, чтобы исключить необходимость откачивать вакуумную камеру перед каждым технологическим процессом. Одиночные шлюзы загрузки пластин обладают компактными размерами, оснащены программируемым двигателем, линейным механизмом движения. Это позволяет использовать их в качестве автоматизированного шлюза загрузки пластины в камеру.
Star SL-200
Star SL-300
Star SL-450
Размеры пластин
≤ 200мм
≤ 300мм
≤ 450мм
Максимальная грузоподъемность
1,5 кг
1,5 кг
5 кг
Оси движения
R, Z
R, Z
R, Z
Рабочее давление
5.00 х 10-7 Торр
5.00 х 10-7 Торр
5.00 х 10-7 Торр
Натекание
1.00 х 10-9 см3 He/c
1.00 х 10-9 см3 He/c
1.00 х 10-9 см3 He/c
Питание
24В DC при 2А
24В DC при 2А
24В DC при 2А
Макс. температура
100⁰C
Материалы
6061‐T6 Al, нержавеющая сталь 300 и 400 серий, Viton, БСС, Crytox, Delrin, PEEK
Интерфейс управления
RS‐232 / Ethernet
MCBF (циклов до ошибки)
>3 х 105
Воспроизводимость (R, Z)
0,15мм; 0,10мм
Максимальный вылет
305мм
355мм
635мм
Особенности:
- Базовая камера
- Обзорные и вакуумные порты
- Защитные интерлоки и датчик пластины
- Механизм линейного движения
- Программирование механизма через RS-232, Ethernet или DeviceNet
Star SL-200
Star SL-300
Star SL-450
Размеры пластин
≤ 200мм
≤ 300мм
≤ 450мм
Максимальная грузоподъемность
1,5 кг
1,5 кг
5 кг
Оси движения
R, Z
R, Z
R, Z
Рабочее давление
5.00 х 10-7 Торр
5.00 х 10-7 Торр
5.00 х 10-7 Торр
Натекание
1.00 х 10-9 см3 He/c
1.00 х 10-9 см3 He/c
1.00 х 10-9 см3 He/c
Питание
24В DC при 2А
24В DC при 2А
24В DC при 2А
Макс. температура
100⁰C
Материалы
6061‐T6 Al, нержавеющая сталь 300 и 400 серий, Viton, БСС, Crytox, Delrin, PEEK
Интерфейс управления
RS‐232 / Ethernet
MCBF (циклов до ошибки)
>3 х 105
Воспроизводимость (R, Z)
0,15мм; 0,10мм
Максимальный вылет
305мм
355мм
635мм
Характеристики одиночного шлюза загрузки пластин
- — Страна производитель: Россия
Товары, похожие на Одиночный шлюз загрузки пластин
Обращаем ваше внимание на то, что торговая площадка BizOrg.su носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой.
Заявленная компанией ЗЭНКО ПЛАЗМА, ООО цена товара «Одиночный шлюз загрузки пластин» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании ЗЭНКО ПЛАЗМА, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.
Заявленная компанией ЗЭНКО ПЛАЗМА, ООО цена товара «Одиночный шлюз загрузки пластин» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании ЗЭНКО ПЛАЗМА, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.