Низкотемпературная система осаждения диэлектриков Corial 210D, Москва
- Минимальный заказ - 1 ед.;
- Дата добавления 14.02.2022;
- Код предложения - 25530091;
- Предложение было просмотрено - 47;
Описание товара
Corial 210D – низкотемпературная система осаждения диэлектриков (Si3N4 и SiO2) и травления в индуктивно связанной плазме на пластинах до 200 мм. Система осуществляет осаждение при температурах подложки от 20 до 200C. Оснащена шлюзом.
Описание установки Corial 210D
ICP-CVD система осаждения диэлектриков с ручной загрузкой и шлюзом. Контролируется компьютером. Обеспечивает быстрое осаждение SiO2 , Si3N4 на пластинах до 200 мм при контролируемой температуре ниже 100С. Если укомплектована CCD -камерой, то обеспечивается автоматическая многошаговость.
Включает следующие части:
Источник индуктивно связанной плазмы, использующий геликоидальную антенну, расположенную вокруг кварцевой трубы диаметром 275 мм. Плазма инициируется РЧ-генератором, работающем не чистоте 2МГц. Мощность варьирутеся от 50-1000 Вт, так как система имеет улучшенную систему контроля то этот источник предоставляет следующие преимущества:
Высокоплотная плазма для осаждения пленок высокого качества
- Запатентованный газовый ввод для повышенной равномерности осажденных пленок
- Оптимизированное индуктивное автоматическое сопряжение на 2 Мгц
- Доступ в реальном времени к различным режимам системы: ICP - RIE и ICP - CVD с РЧ-смещением
- Имеет окно диаметром 25 мм для лазерной интерферометрии
Катод диаметром 220 мм с:
Подъем катода с приводом от системного ПК позволяет загружать пластину и выгружать ее и механически закреплять пластину
Верхняя часть выполнена из алюминия и контролируется по температуре циркуляции диэлектрической жидкости
Алюминиевый челнок с кварцевым зажимным кольцом для 4“
Механический зажим челнока
Гелиевый теплообмен между пластиной задней частью челнока и катодом.
Система контроля потока гелия и его давления, состоящая из:
Газовой линии для гелия с контроллером потока, электропневматическими трехлинейными отсечными клапанами и ручными двухпоточными отсечными клапанами
Газоанализатора от 0-100 Торр
Высокопроизводительную двойную насосную систему разработанную для плазменных процессов , которая включает:
насос №1: ALCATEL ADP 122 P со скоростью откачки 95 м3/ч,
насос №2 : ALCATEL ATH 500 М (турбомолекулярная помпа с магнитным подвесом, 1000 sccm при 60 mT с вводом азота),
набор высоковакуумных клапанов для помпопредварителной откачки при безостановочной работе турбомолекулярной помпы отдельный клапан для высокого вакуума,
измеритель вакуума MKS 0 - 1 Торр для контроля давления
Автоматический контроль давления с очень малым временем отклика
- Отдельная линия азота с электропневматическим клапаном для вентиляции реактора.
Электронные контроллеры, включающий:
Компьютер (процессор ARM 926 180 Мгц, ПО на карте памяти, сеть 100 Мгц 64 Мб ОЗУ шина CAN , порт RS 232) контролирует параметры процесса с откликом 100 мсек
Модуль входов выходов с процессором ARM 7, соединенный с ПК шиной CAN
Высоко- и низковольтные источники питания (220 VAC и 400 VAC ) и (5 V , +15 V , -15 V и +24 V ).
Газовый блок с пятью линиями (максимум 8 линий) для реактивных газов с контроллерами потока Horiba SEC-E40 или Celerity 7301. Линия газа SiH4 включают электропневматический сильфонный 3-линейный отсекающий клапан, ручной 4-линейный байпасный клапан и ручной 2-линейный сильфонный клапан, имеет напуск азота и прямое нагнетание в реактор. Другие газовые линии включают электропневматический 3-х линейный отсекающий клапан и ручной 2-х линейный сильфонный клапан Стандартные контроллеры потоков: 100 sccm O2 , 100 sccm CHF3, 100 sccm N2 , 100 sccm Ar , и 25 sccm SiH4.
- Согласующее устройство на 2 МГц до 2000 Вт РЧ
1000 Вт, 2 МГц, воздушноохлаждаемый
РЧ-генератор AE - Dressler с мониторингом прямой и отраженной мощности
- Система сопряжения на 13,56 Мгц 600 Вт
РЧ-генератор AE Highlight 133 с воздушным охлаждением на 300 Вт при 13,56 Мгц
Нагреватель с кабелем длиной 1 м для предотвращения конденсации субпродуктов на стенках
- Охладитель с диэлектрическим хладагентом температурный диапазон от -30 до +200 С, излучаемая мощность при 0 С 0,3 Квт, мощность нагрева 2 кВт.
Программное обеспечение COSMA , работающее на LINUX , включающее в себя:
автоматическое переключение между шагами в мультишаговых процессах в соответствии с сигналами от датчика окончания процесса или таймеров. Число шагов каждого процесса может достигать 300. Число самих процессов ограничено только емкостью жесткого диска. Система проверяет все параметры и отображает на дисплее ошибки, которые могут происходить. Каждый шаг процесса находится под пристальным мониторингом и четко контролируется, что дает высокую воспроизводимость (повторяемость) процесса и его работоспособность. Частью пакета программного обеспечения является запись информации каждые 250 миллисекунд с возможностью дальнейшего просмотра параметров уже завершенных процессов.
доступно четыре режима программы:
- редактирование для подгонки параметров или создания новых параметров для процессов,
- запуск процесса с его контролем в реальном времени и выводом всех параметров на дисплей,
- оптимизация для разработки новых процессов с помощью интерактивного контроля процесса и его редактирования,
- режим технического обслуживания для диагностики и калибровки системы.
- система поддерживает высокоскоростное Интернет-соединение, со статическим IP -адресом
Персональный компьютер под управлением ОС Linux и Firefox , укомплектованный:
процессором Intel Pentium 2 ГГц,
1 Гб ОЗУ и 2 жесткими дисками на 143 Гб каждый, соединенными в RAD -1,
19 -дюймовым ЖК-монитором,
мышкой и клавиатурой
вакуумным шлюзом для ручной загрузки с автоматическим переносом, включает:
руку робота с пневматическим приводом, оконечник с магнитным приводом для переноса подложек диаметром до 200 мм из шлюза в реактор
шибером VAT, MONOVAT 46 на 236 мм
откачной системой с датчиком PIRANI (базовый вакуум менее 10 -2 мбар.
Рамку и панель для оборудования.
Технические требования для установки Corial 210D
- Электрообеспечение системы 400 В (±10%) 3 фазы + нейтраль + заземление / 17,5 КВА - 50 / 60 ГЦ.
ЭлектрообеспечениеПК 240 В или 110 В (±10%) 1 фаза + нейтраль / 0.6 КВА - 50 / 60 Гц.
Электрообеспечение монитора 240 В или 110 В (±10%) 1 фаза + нейтраль / 0.3 КВА - 50 / 60 Гц
Общее энергопотребление при работе: 10,3 КВт
Общее энергопотребление при подготовке: 3 КВт
Отраженная мощность в чистую комнату (при процессе): 3,2 КВт
Отраженная мощность в «серое» помещение (при процессе): 3,5 КВт
Сухой и фильтрованный азот с регулятором от 0 до 3 атм. (Предоставляется заказчиком), полиамидный шланг O4/6 мм.
Сжатый воздух > 7 атм., полиамидный шланг O4/6 mm
Вода: 20?С с давлением 0/3 атм.
Вытяжка ?10 м 3/ч, Через ПВХ DN 40 (Предоставляется заказчиком)
Вытяжка для газа ?10 м 3/ч, Через ПВХ O80 mm (Опция)
Газовые линии марки 316 L с клапанами и регуляторами от 0 до 3 атм. (Предоставляется заказчиком)
Характеристики низкотемпературной системы осаждения диэлектриков Corial 210D
- — Бренд:: Corial
Товары, похожие на Низкотемпературная система осаждения диэлектриков Corial 210D
Заявленная компанией TBS (ТБС), ООО цена товара «Низкотемпературная система осаждения диэлектриков Corial 210D» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании TBS (ТБС), ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.