Установка плазмохимического травления Corial 210IL (200I), Москва

Corial 210IL (200I) - это система плазмохимического травления в индуктивно связанной плазме под контролем программного обеспечения COSMA и ОС Linux (Fedora). Система предназначена для анизотропного плазмохимического травления GaN, GaAs, GaP, GaAlAs, InP, InGaAsP, ZnS, CdTe, AlN, InAs, Al и Si с использованием хлорсодержащих и фторсодержащих газов. Система может быть укомплектована CCD-камерой с лазерным датчиком, полностью интегрированной в программное обеспечение. Программное обеспечение позволяет создать многошаговый процесс и полностью автоматизировать его.

• Источник высокоплотной плазмы (диам 275 мм) с использованием ICP. Плазма зажигается генератором в 2 МГц. ВЧ может устанавливаться в диапазоне от 100 до 1000Вт и предоставляет следующие преимущества:

- высокоплотная плазма ICP для высоких скоростей травления

- давление от 5 до 100 миллиТор для равномерности

- оптимизация индуктивного совмещения

- низкий сдвиг напряжения для точного мониторинга

- набор разных режимов травления RIE, ICP и RIE+ICP

• Установка укомплектована сапфировым стеклом диаметром 25 мм для лазерной интерферометрии.

• Катод диаметром 220 мм, который укомплектован:

• верхней частью, сделанной из алюминия и охлаждаемой циркуляцией жидкого диэлектрика,


• алюминиевым челноком с графитовым столом для установки и снятия (загрузки и выгрузки) изделия,


• Различные подложкодержатели (алюминиевые, кварцевые, графитовые), устанавливаемые на верхнюю часть катода


• гелиевым теплообменником между задней частью челнока и катодом с контролем потока,


• MKS-измерителем электрического сопротивления для измерения давления гелия,


• механическим зажимом челнока,


• Катодный lift, который применяется для загрузки и выгрузки подложки и механического зажима челнока (управляется системным компьютером).

• Насосную систему с высокой производительностью , специально разработанная для плазменных процессов. Она укомплектована:

• безмасляным насосом Alcatel ADP 122Р производительностью 95 м³/ч,


• турбомолекулярным насосом Alcatel ATН400 с магнитной подвеской (1000 sccm на 60 mT) с инертной (N2) газовой продувкой,


• набором глубоковакуумных и обводных клапанов для грубого откачивания без остановки TMP,


• отдельным измерителем для глубокого вакуума,


• MKS-измерителем электрического сопротивления 0-1 Torr для контроля давления,


• автоматическим контроллером давления с коротким временем отклика (меньше 1 секунды),


• отдельной линией N₂ для вентиляции реактора с электропневматическим клапаном

• Систему электронного контроля, включающей:

• контроллеры оборудования, базирующиеся на 19-дюймовой 6U полустойке (компьютер с процессором Celeron 400, 128 Мб ОЗУ, высокоскоростным портом Ethernet и встроенным программным обеспечением, записанным на 128-Мб карту памяти Compact Flash).


• контроллер процесса, размещающейся в 19-дюймовой 1 U стойке(компьютер с процессором 1,3 ГГц, 512 Мб ОЗУ, высокоскоростным портом Ethernet и 80 Гб жестким диском).

• Высоковольтные (220 и 400 вольт переменного тока) и низковольтные (5 вольт, 15 вольт (+ и -), 24 вольта (+)) источники питания.

• Сетью совмещения на 13,56 МГц с автоматическим сопротивлением до 300 Вт


• 300 W ВЧ генератор 13.56 MHz с автоматическим контролем совмещения MKS-ENI,


• * 1 KW - 2 MHz ВЧ генератор AE Dressler.


• Вакуумный шлюз для ручной загрузки и автоматической подачи. Передает пластины в рабочую камеру на магнитном приводе с воздушной подачей (давление меньше 10-2 мм рт ст)

• Программное обеспечение COSMA , работающее на LINUX , которое обеспечивает:

• автоматическое переключение между шагами в мультишаговых процессах в соответствии с сигналами от датчика окончания процесса или таймеров. Число шагов каждого процесса может достигать 300. Число самих процессов ограничено только пропускной способностью контроллера жесткого диска.Система проверяет все параметры и отображает на дисплее ошибки, которые могут происходить. Каждый шаг процесса находится под пристальным мониторингом и четко контролируется, что дает высокую воспроизводимость (повторяемость) процесса и его работоспособность. Частью пакета программного обеспечения является запись информации с возможностью дальнейшего просмотра параметров уже завершенных процессов.

• доступно четыре режима программы:

• редактирование для подгонки параметров или создания новых параметров для процессов травления,



• запуск процесса с его контролем в реальном времени и выводом всех параметров на дисплей,




• оптимизация для разработки новых процессов с помощью интерактивного контроля процесса и его редактирования,




• режим технического обслуживания для диагностики и калибровки системы.

• система поддерживает высокоскоростное Интернет-соединение, защищенное брандмауэром, а так же соединение по VPN (виртуальной частной сети).

• Персональный компьютер под управлением ОС Linux , укомплектованный:

• процессором Intel Pentium ,




• 512 Мб ОЗУ и жестким диском,




• 17-дюймовым ЖК-монитором,



• мышкой и клавиатурой.

• Рамку и панель для оборудования.



• Чиллер с хладагентом для контроля температуры реактора,турбомолекулярного насоса и катода. Температура от 5 до 25°С, потребляемая мощность при 20°С – 2,2 КВт.

Автоматический лазерный датчик окончания процесса с CCD -камерой для наблюдения за лазером (Ø25 µм) и предмета травления. Он укомплектован линзами с кратностью увеличения более 100 раз. Датчик измеряет степень травления, толщину протравленной поверхности и определяет окончание процесса. Также датчик укомплектован специальной поверхностью, двигающуюся в двух направлениях для точного позиционирования лазера.

• Газораспределительная система, позволяющая автоматически управлять 5 газовыми линиями (до 8 линий) для реактивных газов. Поток газа контролируется расходомерами Horiba или Celerity. Каждая газовая линия включает в себя электропневматические 3-сторонние сильфоны с отсекающим клапаном и ручные 2-сторонние сильфоны с отсекающим клапаном. Стандартные MFCs 200 sccm O₂, 200 sccm CHF₃ и 50 sccm SF₆.


• 300 Вт ВЧ генератор (13.56 MГц) с автоматическим контролем согласования


• Чиллер NesLab для контроля температуры реактора, катода и насосов


• Вакуумный шлюз для ручной загрузки и последующей автоматической подачи подложек в камеру с помощью роботизированной руки

Характеристики установки плазмохимического травления Corial 210IL (200I)

• — Бренд:: Corial