Полностью автоматическая установка совмещения и экспонирования MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA, Москва

Установки -MDA-40FA / MDA-80FA / MDA-12FA -производства -MIDAS SYSTEM (Корея) - -новые модели представляющуе новое поколение полностью автоматических систем литографии. -
Новая платформа автоматической модели предлагает более высокие точности и более легкое управление. Идеальное решение для производства -LED -и других технологиях (MEMS, -оптоэлектроника, -FPD -панели, ВЧ устройства, -flip chip -устройства) требующих высокой точности совмещения. -
Установки имеют более высокую точность совмещения и более высокую гибкость. -
По запросу опция обратного совмещения с -CCD -камерой. - - -
Обработка пластин до 50, 100 мм / 150, 200мм. / 200, 300 мм.
Полностью автоматическое совмещение, автоматическое экспонирование

Особенности

• Автоматическое совмещение

• Автоматическая фокусировка

• Автоматическая загрузка/выгрузка пластин (из кассеты в кассету)

• Удаленное управление

• Подключение -к роботу

• Короткое время обработки -одного цикла

• Производительность 100 пластин в час.

• Высокое качество и сравнительно -низкая -цена

• Монитор с точскрином

• Прецизионная точность совмещения 1 мкм

• Многофункциональный держатель пластин и подложек -до -4&rsquo-&rsquo- -/ -12". -Специальные держатели подложек -(кусочков по запросу)

• Прецизионный столик для совмещения и микроскоп

• Возможность задания различной интенсивности УФ излучения для экспонирования

• Операции с помощью компьютера.

• Система для компенсации «-клина засветки»- на воздушных подшипниках

• Антивибрационная система

• Эргономичный дизайн для удобного использования

УстановкаMDA-40FAMDA-80FAМощность лампы

УФ источник света с мощностью 350 или 500 Вт с контролем интенсивности и мощности излучения.

УФ источник света с мощностью 2 кВт с контролем интенсивности и мощности излучения.Размер подложки

кусочки, пластины до 6 дюймов

кусочки, пластины до 8 дюймов

Точность предварительного совмещения

+/-50 мкм

+/-50 мкм

Точность совмещения1 микрон1 микронРазрешение1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактомРазмер маскидо 7 х 7 дюймовдо 9 х 9 дюймовУФ лампа350 или 500 Вт. или UV LED модуль 365 нм.
2 кВтДиапазон длин волн засветки350-450 нм, или другие по запросу.350-450 нм, или другие по запросу.Размер однородного пучка6,25" х 6,25"10,25" х 10,25"Оптическое зрение (микроскоп)Микроскоп двойного поля, -CCD -камераМикроскоп двойного поля, -CCD -камераОднородность пучка<- +/-3%<- +/-5%Интенсивность излучения при длине волны 365 нмМаксимальная 25 -мВт/см²Максимальная 25 -мВт/см^2 -(2 кВт)
Режим управленияс ПК -(PLC -контроль) -с ПК -(PLC -контроль) -Регулируемое время экспонирования0,1 to 999,9 -сек с шагом 100 мс.0,1 to 999,9 -сек с шагом 100 мс.Совмещение подложекМодуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по -z ±- 10 мм или другой по запросу) и по углу &theta- (±- 4°-). Z и -&theta- моторизованы.
Вес подложек до 2 кг.Модуль совмещения с возможностью перемещения по осям х,у,z (по -z ±- 10 мм или другой по запросу) и по углу &theta- (±- 4°-). Z и -&theta- моторизованы.
Вес подложек до 2 кг.ВыравниваниеКомпенсация ошибки клина
Автоматическое определение края - датчик давленияКомпенсация ошибки клина
Автоматическое определение края - датчик давленияМетоды экспонированияМягкий -контакт, -жесткий контакт, -вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором -(регулируемое 1 мкм) регулируемое с помощью ПК и специального ПО.Мягкий -контакт, -жесткий контакт, -вакуумный контакт (контактное усилие регулируется), экспонирование с микрозазором -(регулируемое 1 мкм) регулируемое с помощью ПК и специального ПО.Опции

CCD BSA - -обратное совмещение с помошью -CCD -камеры,
Датчик интенсивности УФ излучения -и дальнего УФ - излучения -

CCD BSA - -обратное совмещение с помошью -CCD -камеры, -
Датчик интенсивности УФ излучения -и дальнего УФ - излучения -

Запросить предложение можно по -ссылке -или направив нам письмо по адресу info@minateh.ru