Малогабаритная вакуумная установка магнеторного распыления, Москва
Цена: Цену уточняйте
за 1 ед.
Компания Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО (Москва) является зарегистрированным поставщиком на сайте BizOrg.su. Вы можете приобрести товар Малогабаритная вакуумная установка магнеторного распыления, расчеты производятся в ₽. Если у вас возникли проблемы при заказе товара, пожалуйста, сообщите об этом нам через форму обратной связи.
Описание товара
НАЗНАЧЕНИЕ
Нанесение плёнок металлов (Al, Ni, Fe, W, др.) и диэлектриков (SiO2, Si3N4, др.) методом магнетронного распыления.
ОСОБЕННОСТИ
Последовательная обработка подложек в одном технологическом цикле:
2 шт. — ∅150 мм
4 шт. — ∅76 мм, ∅100 мм
8 шт. — ∅60 мм, 60×48 мм
Распыление дисковой мишени в плазме магнетронного разряда.
Подготовка поверхности подложек - нагрев и ионная очистка в плазме ВЧ разряда.
Автоматизированное управление от персонального компьютера.
Малогабаритная безмасляная вакуумная система откачки.
Автономная система водяного охлаждения.
Мощность потребления не более 3 кВт.
Площадь, занимаемая одной установкой ~1,5 м²
СИСТЕМЫ УСТАНОВКИ:
Рабочая камера;
Планетарный подложкодержатель с тройной системой вращения;
Вращающийся экран - цилиндрическая заслонка;
Магнетронное распылительное устройство (магнетрон); ВЧ генератор;
Вакуумная система на базе турбомолекулярного и форвакуумного насосов;
Газовая система - включает регуляторы расхода газа РРГ-10,
ручные запорные краны, регуляторы давления, манометры, электромагнитные клапаны;
Система водяного охлаждения;
Микропроцессорная система управления.
Нанесение плёнок металлов (Al, Ni, Fe, W, др.) и диэлектриков (SiO2, Si3N4, др.) методом магнетронного распыления.
ОСОБЕННОСТИ
Последовательная обработка подложек в одном технологическом цикле:
2 шт. — ∅150 мм
4 шт. — ∅76 мм, ∅100 мм
8 шт. — ∅60 мм, 60×48 мм
Распыление дисковой мишени в плазме магнетронного разряда.
Подготовка поверхности подложек - нагрев и ионная очистка в плазме ВЧ разряда.
Автоматизированное управление от персонального компьютера.
Малогабаритная безмасляная вакуумная система откачки.
Автономная система водяного охлаждения.
Мощность потребления не более 3 кВт.
Площадь, занимаемая одной установкой ~1,5 м²
СИСТЕМЫ УСТАНОВКИ:
Рабочая камера;
Планетарный подложкодержатель с тройной системой вращения;
Вращающийся экран - цилиндрическая заслонка;
Магнетронное распылительное устройство (магнетрон); ВЧ генератор;
Вакуумная система на базе турбомолекулярного и форвакуумного насосов;
Газовая система - включает регуляторы расхода газа РРГ-10,
ручные запорные краны, регуляторы давления, манометры, электромагнитные клапаны;
Система водяного охлаждения;
Микропроцессорная система управления.
Товары, похожие на Малогабаритная вакуумная установка магнеторного распыления
Обращаем ваше внимание на то, что торговая площадка BizOrg.su носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой.
Заявленная компанией Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО цена товара «Малогабаритная вакуумная установка магнеторного распыления» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.
Заявленная компанией Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО цена товара «Малогабаритная вакуумная установка магнеторного распыления» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.