Малогабаритная вакуумная установка реактивно-ионного травления, Москва
Цена: Цену уточняйте
за 1 ед.
Компания Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО (Москва) является зарегистрированным поставщиком на сайте BizOrg.su. Вы можете приобрести товар Малогабаритная вакуумная установка реактивно-ионного травления, расчеты производятся в ₽. Если у вас возникли проблемы при заказе товара, пожалуйста, сообщите об этом нам через форму обратной связи.
Описание товара
НАЗНАЧЕНИЕ:
Травление тонких диэлектрических (SiO2, Si3N4) и металлических слоев (Мо, Cr и др.), а также полупроводниковых материалов (GaAs, Si и др.) методом плазмохимического реактивно-ионного травления.
ОСОБЕННОСТИ:
Индивидуальная обработка подложек до ∅150 мм (100×100 мм);
Откачка реактора до предельного разряжения 0.5 Па;
Поддержание стабильности ВЧ разряда в диапазоне рабочих давлений 2-30 Па;
Изменение ВЧ смещения на ВЧ электроде - подложкодержателе в диапазоне от 0 до 1000 В;
Регулирование и автоматическое поддержание уровня ВЧ мощности в диапазоне 30-200 Вт;
Водяное охлаждение подложкодержателя;
Автоматизированное управление от персонального компьютера;
Мощность потребления не более 3 кВт;
Площадь, занимаемая одной установкой ~1,5 м2.
СИСТЕМЫ УСТАНОВКИ:
Рабочая камера;
Охлаждаемый электрод-подложкодержатель;
ВЧ генератор 13,56 Мгц, 300 Вт;
Устройство согласования генератора с нагрузкой;
Вакуумная система на базе форвакуумного насоса;
Газовая система - включает регуляторы расхода газа РРГ-10, ручные запорные краны, регуляторы давления, манометры, электромагнитные клапаны;
Система водяного охлаждения;
Микропроцессорная система управления.
Травление тонких диэлектрических (SiO2, Si3N4) и металлических слоев (Мо, Cr и др.), а также полупроводниковых материалов (GaAs, Si и др.) методом плазмохимического реактивно-ионного травления.
ОСОБЕННОСТИ:
Индивидуальная обработка подложек до ∅150 мм (100×100 мм);
Откачка реактора до предельного разряжения 0.5 Па;
Поддержание стабильности ВЧ разряда в диапазоне рабочих давлений 2-30 Па;
Изменение ВЧ смещения на ВЧ электроде - подложкодержателе в диапазоне от 0 до 1000 В;
Регулирование и автоматическое поддержание уровня ВЧ мощности в диапазоне 30-200 Вт;
Водяное охлаждение подложкодержателя;
Автоматизированное управление от персонального компьютера;
Мощность потребления не более 3 кВт;
Площадь, занимаемая одной установкой ~1,5 м2.
СИСТЕМЫ УСТАНОВКИ:
Рабочая камера;
Охлаждаемый электрод-подложкодержатель;
ВЧ генератор 13,56 Мгц, 300 Вт;
Устройство согласования генератора с нагрузкой;
Вакуумная система на базе форвакуумного насоса;
Газовая система - включает регуляторы расхода газа РРГ-10, ручные запорные краны, регуляторы давления, манометры, электромагнитные клапаны;
Система водяного охлаждения;
Микропроцессорная система управления.
Товары, похожие на Малогабаритная вакуумная установка реактивно-ионного травления
Обращаем ваше внимание на то, что торговая площадка BizOrg.su носит исключительно информационный характер и ни при каких условиях не является публичной офертой.
Заявленная компанией Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО цена товара «Малогабаритная вакуумная установка реактивно-ионного травления» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.
Заявленная компанией Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО цена товара «Малогабаритная вакуумная установка реактивно-ионного травления» может не быть окончательной ценой продажи. Для получения подробной информации о наличии и стоимости указанных товаров и услуг, пожалуйста, свяжитесь с представителями компании Научно-исследовательский институт точного машиностроения, ООО по указанным телефону или адресу электронной почты.